Vakuum karburering er at opvarme emnet i vakuum.Når den når temperaturen over det kritiske punkt, vil den forblive i en periode, afgasse og fjerne oxidfilmen og derefter lede den rensede karbureringsgas ind til karburering og diffusion.Karbureringstemperaturen ved vakuumkarburering er høj, op til 1030 ℃, og karbureringshastigheden er hurtig.Overfladeaktiviteten af karburerede dele forbedres ved afgasning og deoxidering.Den efterfølgende diffusionshastighed er for høj.Karburering og diffusion udføres gentagne gange og skiftevis, indtil den nødvendige overfladekoncentration og dybde er nået.
Vakuum karbureringsdybde og overfladekoncentration kan kontrolleres;Det kan ændre de metallurgiske egenskaber af overfladelaget af metaldele, og dets effektive karbureringsdybde er dybere end den faktiske karbureringsdybde af andre metoder.